Methode zur Mikro- und Nanostrukturierung

  • chair:

    Gliemann, H. / Pancera, S.M. / Shimmel, Th.  (2008)
  • place: German patent, DE102007007719A1

  • Date: 2008

  • Gliemann, H. / Pancera, S.M. / Shimmel, Th.  (2008): Methode zur Mikro- und Nanostrukturierung. German patent, DE102007007719A1